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Signatur P.S.611,80.147
Titel Microstructure of Sputtered TiN and ZrN Coatings
Paralleltitel Mikrostruktur gesputterter TiN- und ZrN-Schichten
VerfasserIn Ergün Kelesoglu, Christian Mitterer
Illustrationen 10 Abb.
Medientyp Artikel
Sprache Englisch
ISSN 0005-8912
Erschienen In: Berg- und Hüttenmännische Monatshefte ; 147 (2002), S.159-163
Anmerkungen Literaturverz.S.163
Datensatznummer 200017427
 
Schlagwörter Zirconiumnitrid, Titannitrid, Struktur, Beschichtung, Kathodenzerstäubung, Mikrostruktur
Geograf. Schlagwort Österreich
 
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